Siliziumkarbid-Keramik-Beschichtung

Semicera Silicon Carbide Ceramic Coating ist eine leistungsstarke Schutzbeschichtung aus extrem hartem und verschleißfestem Siliziumkarbid (SiC) Material. Die Beschichtung wird üblicherweise durch CVD- oder PVD-Verfahren mit Siliciumcarbidpartikeln auf der Oberfläche des Substrats abgeschieden, wodurch eine ausgezeichnete chemische Korrosionsbeständigkeit und eine hohe Temperaturstabilität erreicht wird. Silicon Carbide Ceramic Coating ist daher weit verbreitet in Schlüsselkomponenten der Halbleiterfertigungsausrüstung.

Bei der Halbleiterherstellung kann SiC-Beschichtung extrem hohen Temperaturen bis zu 1600°C standhalten, so dass Silicon Carbide Ceramic Coating oft als Schutzschicht für Geräte oder Werkzeuge verwendet wird, um Schäden in hohen Temperaturen oder korrosiven Umgebungen zu verhindern.

Gleichzeitig kann Siliciumcarbid-Keramikbeschichtung der Erosion von Säuren, Alkalien, Oxiden und anderen chemischen Reagenzien widerstehen und eine hohe Korrosionsbeständigkeit gegenüber einer Vielzahl chemischer Substanzen aufweist. Dieses Produkt eignet sich daher für verschiedene korrosive Umgebungen in der Halbleiterindustrie.

Darüber hinaus hat SiC gegenüber anderen keramischen Materialien eine höhere Wärmeleitfähigkeit und kann Wärme effektiv leiten. Dieses Merkmal bestimmt, dass bei Halbleiterprozessen, die eine präzise Temperaturregelung erfordern, die hohe Wärmeleitfähigkeit der Silicon Carbide Ceramic Coating hilft, Wärme gleichmäßig zu verteilen, lokale Überhitzung zu verhindern und sicherzustellen, dass das Gerät bei der optimalen Temperatur arbeitet.