Graphit Susceptor mit Silikon Carbide Beschichtung 6 Stück 6 Zoll Wafer Carrier

Produktbeschreibung

Bei Hochtemperaturprozessen (z.B. CVD, MOCVD, epitaktisches Wachstum) in der Halbleiter-, Photovoltaik- und neuen Energieindustrie haben die Haltbarkeit und Stabilität von Waferträgern direkte Auswirkungen auf Produktivität und Kosten. 6-Zoll-Silicon Carbid-beschichtete Graphitträger (Pack mit 6) von Semicera Semiconductor sind speziell für raue Prozessumgebungen konzipiert und bieten eine hochtemperaturbeständige, korrosionsbeständige und langlebige Lösung für Ihre Produktionslinie mit hochmodernen Materialien und Technologien. Produktionslinie mit modernsten Werkstoffen und Prozesstechnik, um eine hochtemperaturbeständige, korrosionsbeständige, langlebige Lösung zu schaffen, die die Ausfallzeiten verringert und die Kapazitätskonsistenz verbessert.

Core Benefits: Warum wählen Sie Semiceras Silicon Carbide beschichtete Graphitträger?

1.Superior Performance für mehr Leben
Lebenslauf Silicon Carbide Beschichtungstechnologie: Hohe Reinheit Silicon Carbide (SiC) wird gleichmäßig auf der Oberfläche beschichtet, was die Beständigkeit gegen hohe Temperaturoxidation (bis zu 1600°C+) und chemische Korrosion deutlich verbessert und das Graphitsubstrat von der Reaktion mit Prozessgasen vermeidet, wodurch das Risiko einer Waferverunreinigung verringert wird.

Ultra-low Partikel Sheddingrate: Präzisionsbeschichtungsverfahren sorgt für glatte und dichte Oberfläche, reduziert Waferkratzer und Partikelverschmutzung und garantiert Prozessausbeute.

2.Hocheffizienz-Produktionsdesign, Senkung der Gesamtkosten
Standardisierte 6-teilige Konfiguration: Anpassung an Mainstream 6-Zoll-Wafer-Produktionslinien, Unterstützung Batch-Verarbeitung, Verkürzung des Prozesszyklus und Erhöhung der Produktionskapazität.

Hervorragende Wärmeausdehnungskoeffizientenanpassung: Graphitsubstrat und Siliziumkarbidbeschichtung sind mit den thermischen Eigenschaften hochkompatibel, gewährleisten strukturelle Stabilität bei hohen Temperaturen, reduzieren Verformung und Rißbildung und verlängern die Lebensdauer auf mehr als das 3-fache der üblichen Graphitträger.

3. Vollständige Qualitätssicherung, sorgenfreie Lieferung
Stringent Qualitätskontrollstandards: Vom hochreinen isostatischen Graphitsubstrat bis zum Beschichtungsprozess durchläuft das gesamte Verfahren SEM/EDS-Tests und erfüllt die Spezifikationen der ASTM- und Halbleiterindustrie.

Schnelle Reaktion auf die Anpassung: Unterstützung der Anpassung von Größe, Schichtdicke und anderen Parametern, um die Bedürfnisse von speziellen Prozessen zu erfüllen.

Technische Parameter

• Material: Isostatischer Graphit + CVD Siliziumkarbidbeschichtung
• Anwendbare Wafergröße: 6 Zoll
• Einzelbeladungskapazität: 6 Wafer
• Maximale Arbeitstemperatur: 1600°C (inert gas environment)
• Schichtdicke: 80-120μm (anpassbar)
• Oberflächenrauhigkeit: Ra ≤0,8μm

Anwendungsszenarien: Begleitung wichtiger Prozesslinks

1. Halbleiterfertigung: Silizium-Epitaxie, GaN-Abscheidung, Siliziumkarbid-Geräteproduktion
2. Photovoltaikfeld: CVD-Beschichtung für hocheffiziente Solarzellenwafer
3. Neue Energiematerialien: Hochtemperatursinterung von Lithiumanoden Materialien

Vier Gründe, Halbleiter zu wählen

✅ Tief in der Branche seit fast einem Jahrzehnt: Spezialisierung auf Halbleiter-Kern-Komponente R&D seit 2015, mehr als 200 Kunden weltweit, darunter erstklassige PV- und Halbleiterunternehmen.
✅ Technology Driven Innovation: Wir haben die Kerntechnologie der CVD Silicon Carbide Beschichtung gemeistert und haben die ISO 9001 Zertifizierung und viele Patente erhalten.
✅ Nachhaltiges Fertigungsengagement: Verabschiedung grüner Produktionsprozesse, Reduzierung des Energieverbrauchs und der Abfallemissionen und Ausübung sozialer Verantwortung.
✅ Full-Cycle-Service-Unterstützung: Von der Auswahl und Beratung bis zur Wartung des After-Sales bietet das professionelle Team rund um die Uhr technische Antwort.
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Egal, ob Sie eine neue Produktionslinie aufbauen oder einen alten Träger ersetzen, Semiceras Silicon Carbide beschichtete Graphitträger werden Ihr zuverlässiger Partner bei der Verbesserung Ihrer Wettbewerbsfähigkeit durch geringere Gesamtkosten und höhere Prozessstabilität sein.

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📞 Kontakt Team: +86-13373889683
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