SiC Coated Susceptor for Deep UV-LED

Semicera Energy Technology Co., Ltd. is a leading supplier of advanced semiconductor ceramics. Our main products include: Silicon carbide etched discs, silicon carbide boat trailers, silicon carbide wafer ships (PV & Semiconductor), silicon carbide furnace tubes, silicon carbide cantilever paddles, silicon carbide chuck, silicon carbide beams, as well as CVD SiC coatings and TaC coatings.

The products are mainly used in the semiconductor and photovoltaic industries, such as crystal growth, epitaxy, etching, packaging, coating and diffusion furnace equipment.

Nuestra empresa proporciona servicios de proceso de recubrimiento de SiC por método CVD en la superficie de grafito, cerámica y otros materiales, de modo que los gases especiales que contienen carbono y silicio reaccionan a alta temperatura para obtener moléculas SiC de alta pureza, moléculas depositadas en la superficie de los materiales recubiertos, formando capa protectora SIC.

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Características principales

1. High temperature oxidation resistance: the oxidation resistance is still very good when the temperature is as high as 1600 C.
2. Alta pureza : hecha por la deposición de vapor químico bajo la condición de cloración de alta temperatura.
3. Resistencia a la erosión: alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
4. Resistencia a la corrosión: ácido, alcalino, sal y reactivos orgánicos.

Principales especificaciones de CVD-SIC Coating

SiC-CVD Propiedades
Estructura de cristal	FCC fase β
Densidad	g/cm 3	3.21
Hardness	La dureza de los Vickers	2500
Tamaño de la abuela	μm	2~10
Pureza química	%	99.99995
Capacidad de calefacción	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura de sublimación	°C	2700
Fuerza Felexural	MPa (RT 4 puntos)	415
Young’s Modulus	Gpa (4pt curva, 1300°C)	430
Expansión térmica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductividad térmica	(W/mK)	300