Graphite Susceptor with Silicon Carbide Coating 6 pieces 6 inch wafer Carrier

Descripción del producto

En procesos de alta temperatura (por ejemplo, CVD, MOCVD, crecimiento epitaxial) en las industrias semiconductores, fotovoltaicas y nuevas energías, la durabilidad y estabilidad de los portadores de ondas tienen un impacto directo en la productividad y el coste. Transportadores de grafito de silicona de 6 pulgadas (paquete de 6) de Semicera Semiconductor están diseñados específicamente para entornos de proceso duro, y ofrecen una solución de alta temperatura, resistencia a la corrosión y larga vida a su línea de producción, con materiales y tecnologías de última generación. línea de producción con materiales de vanguardia y tecnología de procesos para proporcionar una solución resistente a la corrosión, resistente a la corrosión, de larga vida que ayuda a reducir el tiempo de inactividad y mejorar la coherencia de la capacidad.

Beneficios básicos: ¿Por qué elegir los portadores de grafito de silicona de Semicera?

1.Superior Performance for Longer Life
CVD Silicon Carbide Coating Technology: Carburo de silicona de alta pureza (SiC) es uniformemente recubierto en la superficie, lo que mejora significativamente la resistencia a la oxidación de alta temperatura (hasta 1600°C+) y la corrosión química, y evita que el sustrato de grafito reaccione con gases de proceso, reduciendo el riesgo de contaminación de la ola.

Tasa de recubrimiento de partículas ultra-bajo: El proceso de recubrimiento de precisión garantiza una superficie lisa y densa, reduce los arañazos y la contaminación de partículas y garantiza el rendimiento del proceso.

2. Diseño de producción de alta eficiencia, reduciendo los costos generales
Configuración estandarizada de 6 piezas: Adaptarse a las principales líneas de producción de wafer de 6 pulgadas, apoyar el procesamiento por lotes, acortar el ciclo de proceso y aumentar la capacidad de producción.

Excelente coeficiente de expansión térmica: sustrato de grafito y revestimiento de carburo de silicio son altamente compatibles con las propiedades térmicas, garantizando estabilidad estructural a altas temperaturas, reduciendo la deformación y la grieta, y ampliando la vida útil a más de 3 veces la de los portadores de grafito ordinarios.

3. Garantía de calidad de todo el proceso, entrega sin preocupaciones
Normas de control de calidad estrictas: Desde sustrato de grafito isostático de alta pureza hasta el proceso de recubrimiento, todo el proceso pasa a prueba SEM/EDS, y cumple con las especificaciones de la industria ASTM y semiconductor.

Respuesta rápida a la personalización: apoyar el ajuste del tamaño, el espesor del revestimiento y otros parámetros para satisfacer las necesidades de los procesos especiales.

Parámetros técnicos

• Material: Gráfico estático + carburo de silicio CVD
• Tamaño de la ola aplicable: 6 pulgadas
• Capacidad de carga única: 6 wafers
• Temperatura de trabajo máxima: 1600°C (ambiente de gas de lana)
• Espesor de recubrimiento: 80-120μm (consumible)
• Espesor superficial: Ra ≤0.8μm

Situaciones de aplicación: escoltar enlaces clave de procesos

1. Fabricación semiconductora: epitaxia de silicio, deposición GaN, producción de carburo de silicio
2. Campo fotovoltaico: recubrimiento CVD para ondas de células solares de alta eficiencia
3. Nuevos materiales energéticos: sinterización de alta temperatura de materiales de anodo de litio

Cuatro razones para elegir semiconductor

Entendido Profundo émbolo en la industria durante casi una década: especialización en el componente básico semiconductor R pactoD desde 2015, sirviendo a más de 200 clientes en todo el mundo, incluyendo empresas de primer nivel PV y semiconductores.
✅ Tecnología impulsa la innovación: Hemos dominado la tecnología básica del revestimiento de carburo de silicona CVD, y hemos recibido la certificación ISO 9001 y muchas patentes.
Entendido Compromiso de fabricación sostenible: Adoptar procesos de producción verde, reducir el consumo de energía y las emisiones de desechos y ejercer la responsabilidad social.
Entendido Soporte de servicio de ciclo completo: desde selección y consulta hasta mantenimiento postventa, el equipo profesional proporciona respuesta técnica las 24 horas.
¡Actúa ahora para mejorar tu equipo de proceso!

Ya sea que usted está construyendo una nueva línea de producción o reemplazando un viejo transportista, los portadores de grafito recubiertos de Silicon Carbide de Semicera serán su socio confiable para mejorar su competitividad con menor costo general y mayor estabilidad del proceso.

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