Suscepteur en graphite avec revêtement en carbure de silicone 6 pièces Porte plaque de 6 pouces

Description du produit

Dans les procédés à haute température (p. ex. CVD, MOCVD, croissance épitaxiale) dans les industries des semi-conducteurs, du photovoltaïque et des nouvelles industries énergétiques, la durabilité et la stabilité des porteurs de plaquettes ont un impact direct sur la productivité et les coûts. Les porteurs de graphite revêtus de carbure de silicium de 6 pouces (paquet de 6) de Semicera Semiconductor sont spécialement conçus pour les environnements de processus difficiles et offrent une solution à haute température, résistante à la corrosion et longue durée de vie à votre chaîne de production, avec des matériaux et des technologies de pointe. ligne de production avec des matériaux de pointe et la technologie de procédé pour fournir une solution haute température, résistant à la corrosion, longue durée de vie qui aide à réduire les temps d'arrêt et améliorer la cohérence de capacité.

Avantages de base: Pourquoi choisir Semicera?

1.Performance supérieure pour une vie plus longue
DCV Technologie de revêtement en carbure de silicium: Le carbure de silicium de haute pureté (SiC) est uniformément recouvert sur la surface, ce qui améliore significativement la résistance à l'oxydation à haute température (jusqu'à 1600°C+) et à la corrosion chimique, et évite le substrat de graphite de réagir avec les gaz de procédé, réduisant ainsi le risque de contamination par les plaquettes.

Taux d'excrétion des particules ultra-faible : Le revêtement de précision assure une surface lisse et dense, réduit les rayures et la contamination des particules et garantit le rendement du procédé.

2.Conception de production à haut rendement, réduction des coûts globaux
Configuration normalisée en 6 parties : Adaptez-vous à des lignes de production de wafer de 6 pouces, supportez le traitement par lots, raccourcissez le cycle du procédé et augmentez la capacité de production.

Excellente adaptation du coefficient d'expansion thermique: le substrat de graphite et le revêtement en carbure de silicium sont très compatibles avec les propriétés thermiques, assurant la stabilité structurale à des températures élevées, réduisant la déformation et la fissuration, et étendant la durée de vie à plus de 3 fois celle des porteurs ordinaires de graphite.

3. Assurance qualité complète, livraison sans souci
Normes strictes de contrôle de la qualité: Du substrat isostatique de graphite à haute pureté au processus de revêtement, l'ensemble du processus passe à l'essai SEM/EDS et répond aux spécifications de l'industrie ASTM et des semi-conducteurs.

Réponse rapide à la personnalisation: soutenir le réglage de la taille, l'épaisseur du revêtement et d'autres paramètres pour répondre aux besoins des procédés spéciaux.

Paramètres techniques

• Matériel: graphite isostatique + revêtement en carbure de silicium CVD
• Taille du wafer applicable : 6 pouces
• Capacité de chargement unique: 6 plaquettes
• Température maximale de fonctionnement: 1600°C (environnement de gaz inerte)
• Épaisseur du revêtement: 80-120μm (personnable)
• Rugosité de surface: Ra ≤0,8μm

Scénarios d'application : escorter les liens clés du processus

1. Fabrication de semi-conducteurs: épitaxie du silicium, dépôt de GaN, production de dispositifs de carbure de silicium
2. Champ photovoltaïque: Revêtement CVD pour plaquettes solaires à haute efficacité
3. Nouveaux matériaux énergétiques: frittage à haute température des matériaux de l'anode au lithium

Quatre raisons de choisir le semi-conducteur

( ) Plongée profonde dans l'industrie depuis près d'une décennie : spécialisation dans la R-D des composants de base de semi-conducteurs depuis 2015, au service de plus de 200 clients dans le monde entier, dont des entreprises de premier niveau de VP et de semi-conducteurs.
Innovation technologique : Nous avons maîtrisé la technologie de base du revêtement en carbure de silicone CVD et nous avons obtenu la certification ISO 9001 et de nombreux brevets.
( ) Engagement en matière de fabrication durable : Adopter des processus de production écologiques, réduire la consommation d'énergie et les émissions de déchets et exercer la responsabilité sociale.
( ) Soutien à cycle complet : de la sélection et de la consultation à l'entretien après-vente, l'équipe professionnelle fournit une réponse technique 24 heures sur 24.
Agissez maintenant pour mettre à niveau votre équipement de processus!

Que vous construisiez une nouvelle ligne de production ou que vous remplaçiez un ancien transporteur, les transporteurs de graphite revêtus de carbure de silicium Semicera seront votre partenaire fiable pour améliorer votre compétitivité avec un coût global moins élevé et une plus grande stabilité des processus.

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Équipe de contact: +86-13373889683
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