Revêtement céramique en carbure de silicium

Semicera Silicon Carbide Ceramic Revêtement est un revêtement de protection haute performance en carbure de silicium (SiC) extrêmement dur et résistant à l'usure. Le revêtement est généralement déposé à la surface du substrat par le procédé CVD ou PVD avec des particules de carbure de silicium, offrant une excellente résistance à la corrosion chimique et une stabilité à haute température. Par conséquent, le revêtement en céramique au carbure de silicium est largement utilisé dans les composants clés des équipements de fabrication de semi-conducteurs.

Dans la fabrication de semi-conducteurs, le revêtement SiC peut résister à des températures extrêmement élevées allant jusqu'à 1600°C, de sorte que le revêtement en céramique au carbure de silicium est souvent utilisé comme couche protectrice pour les équipements ou les outils afin de prévenir les dommages dans des environnements à haute température ou corrosifs.

Dans le même temps, le revêtement en céramique au carbure de silicium peut résister à l'érosion des acides, des alcalis, des oxydes et d'autres réactifs chimiques, et possède une résistance élevée à la corrosion de diverses substances chimiques. Par conséquent, ce produit convient à divers environnements corrosifs dans l'industrie des semi-conducteurs.

En outre, par rapport à d'autres matériaux céramiques, SiC a une conductivité thermique plus élevée et peut conduire efficacement la chaleur. Cette caractéristique détermine que, dans les processus semi-conducteurs qui nécessitent un contrôle précis de la température, la conductivité thermique élevée du revêtement céramique en carbure de silicium aide à disperser uniformément la chaleur, à prévenir la surchauffe locale et à assurer que le dispositif fonctionne à la température optimale.