業界を超えたアプリケーション
•半導体製造
SiCダミーウエファーは、半導体製造において特に生産初期段階で不可欠です。 それらは保護障壁として、潜在的な損傷からケイ素のウエファーを保護し、プロセス正確さを保障します.
•品質保証およびテスト
品質保証では、SiC Dummy Waferは、配送チェックやプロセスフォームの評価に不可欠です。 フィルム厚、圧力抵抗、反射率などのパラメータの正確な測定を可能にし、製造プロセスの検証に貢献します.
•リソグラフィとパターン検証
リソグラフィでは、パターンサイズ測定と欠陥チェックのベンチマークとして機能します。 それらの精度と信頼性は、目的の幾何学的精度を達成するのに役立ちます, 半導体デバイス機能性のために重要な.
• 研究開発
R&D環境では、SiC Dummy Waferの柔軟性と耐久性が豊富な実験をサポートします。 厳密な試験条件に耐える能力は、新しい半導体技術を開発するためにそれらを有利にします.