炭化ケイ素カンチレバーパドル

炭化ケイ素のパドルは、炭化ケイ素の炭化ケイ素のcantileverのパドル、炭化ケイ素のcantileverのビームとして知られる一種の炭化ケイ素の陶磁器のプロダクトです、高温焼結の炭化ケイ素の陶磁器の焼結の高温の液体のケイ素との接触で、β-SiCの形成、およびα-SiCの結合された材料は、さまざまな材料に合わせました。それにさまざまな材料が、陶磁器材料を結合しました.

シスコ Cantileverのパドルはコーティングのモノクリスタルおよび多結晶性のケイ素のウエファーのための光起電の企業の拡散のコーティングの炉で使用されます。高温・腐食性に優れ、長寿命を実現.
SiCカンチレバーパドルは高温拡散のコーティングの炉の管にケイ素のウエファーを運ぶSiCのボート/quartzのボートを提供します.
当社のSiCカンチレバーパドルの長さは、1,500〜3500 mmの範囲です。 SiC Cantileverのかい次元は顧客の指定に従ってなされるtailorである場合もあります.

再結晶化炭化ケイ素の物理的性質
プロパティ	典型的な価値
働く温度(°C)	1600°C (酸素と)、1700°C (減少の環境)
SiC コンテンツ	> 99.96%
無料の Si コンテンツ	< 0.1%
バルク密度	2.60-2.70 g/cm³
Apparent 気孔率	< 16%
圧縮強度	> 600MPa
冷たい曲げ強度	80-90 MPa (20°C)
ホット曲げ強度	90-100 MPa (1400°C)
熱膨張@1500°C	4.70 10^-6/°Cの
熱伝導性@1200°C	23 W/m・K
弾性率	240 GPaの
Thermal shock resistance	非常に良い