ウェハーハンドリングアーム

炭化ケイ素の炭化物真空のチャックおよびウエファーの処理アームは、静圧プレス工程と高温焼結によって形成されます。外的な次元、厚さおよび形はユーザーの特定の条件を満たすためにユーザーの設計デッサンに従って終えることができます.

ウェーハハンドリングアームは、半導体製造工程で使用される主要装置で、ウェーハの処理、搬送、位置決めに使用されます。通常、ロボットアーム、グリッパー、制御システムで構成されています。ウェーハハンドリングアームは、ウェーハローディング、清掃、薄膜蒸着、エッチング、リソグラフィ、検査などのプロセス手順を含む、半導体製造のさまざまなリンクで広く使用されています。生産プロセスの品質、効率性、一貫性を確保するため、その精度、信頼性、自動化能力が不可欠です.

ウエハハンドリングアームの主な機能は次のとおりです

1。ウエファーの移動: ウェーハハンドリングアームは、ウェーハを1つの場所から別の場所に正確に転送することができます。例えば、ストレージラックからウェーハを取り、処理装置に入れます.

2。位置およびオリエンテーション: ウェーハハンドリングアームは、ウェーハを正確に配置し、後続処理または測定操作の正しいアライメントと位置を確保することができます.

3。締め金で止め、解放: ウェーハのハンドリングアームは、ウェーハを安全にクランプし、ウェーハの安全な転送と取り扱いを確保するために必要なときにそれらを解放することができるグリッパーが装備されています.

4。自動制御: ウエハハンドリングアームには、あらかじめ決められたアクションシーケンスを自動的に実行できる高度な制御システムが装備されており、生産効率を向上させ、ヒューマンエラーを削減します.