반도체, 광전지 및 새로운 에너지 산업에 반도체, 광전지 및 새로운 에너지 산업에 있는 고온 공정 (e.g., CVD, MOCVD, epitaxial growth)에는 웨이퍼 캐리어의 내구성과 안정성이 생산성과 비용에 직접적인 영향을 미칩니다. Semicera Semiconductor의 6인치 실리콘 카바이드 코팅 흑연 캐리어(팩 6)은 열악한 공정 환경을 위해 특별히 설계되었으며, 최첨단 소재와 기술로 생산 라인에 고온, 부식성 및 긴 수명 솔루션을 제공합니다. 절단 가장자리 물자와 공정 기술을 가진 생산 라인은 가동불능시간을 감소시키고 수용량 견실함을 개량하는 것을 돕는 고열, 부식 저항하는, 장수 해결책을 제공하기 위하여 기술을 가공합니다.
더 긴 수명을 위한 1.Superior 성과
CVD(주) 실리콘 탄화물 코팅 기술: 고순도 실리콘 카바이드 (SiC)는 표면에 균일하게 코팅되어 고온 산화 (최대 1600°C +) 및 화학 부식에 대한 저항을 크게 향상시키고 공정 가스와 반응하여 흑연 기판을 피하며 웨이퍼 오염의 위험을 감소시킵니다.
매우 낮은 입자 헛간 비율: 정밀도 코팅 과정은 매끄럽고 조밀한 표면을 지킵니다, 웨이퍼 찰상 및 입자 오염을 감소시키고, 과정 수확량을 보장합니다.
2.High 효율성 생산 디자인, 전반적인 비용을 감소시키기
표준화된 6 조각 윤곽: 주류 6 인치 웨이퍼 생산 라인에 적응, 프로세스 사이클을 단축, 생산 능력을 증가 지원 일괄 처리.
우수한 열팽창 계수 일치: 흑연 기질과 실리콘 탄화물 코팅은 열 재산과 매우 호환이 되고, 고열에 구조상 안정성을 지키고, 개악을 감소시키고, 정규적인 흑연 운반대의 3배에 서비스 기간을 확장하.
3. 명세 가득 차있 가공 품질 보증, 걱정 자유로운 납품
Stringent 품질 관리 기준: 높은 순수성 isostatic 흑연 기질에서 코팅 과정에, 전체적인 과정은 SEM/EDS 테스트를 통과하고, ASTM와 반도체 산업 규격에 맞힙니다.
주문화에 빠른 응답: 특별한 과정의 필요를 충족시키기 위하여 크기, 코팅 간격 및 다른 모수의 조정을 지원합니다.
· 거의 10 년 동안 업계의 딥 플런저 : 2015 년부터 반도체 코어 부품 R & D 전문, 세계 200 개 이상의 고객을 제공, 최초의 Tier PV 및 반도체 회사를 포함한.
✅ 기술 몬 혁신: 우리는 CVD 실리콘 카바이드 코팅의 핵심 기술을 마스터하고 ISO 9001 인증을 받았으며 많은 특허를 받았습니다.
· 지속 가능한 제조 약속 : 녹색 생산 공정을 채택하고 에너지 소비 및 폐기물 배출을 줄이고 사회적 책임을 실천합니다.
· 가득 차있 주기 서비스 지원: 선택과 상담에서 판매 후 정비에, 직업적인 팀은 24 시간 기술지원을 제공합니다.
지금 당신의 공정 장비를 격상시키기 위하여!
세미세라 실리콘 카바이드 코팅 흑연 캐리어는 새로운 생산 라인을 구축하거나 기존 캐리어를 교체 할 것인지 여부는 전반적인 비용과 높은 공정 안정성을 가진 경쟁력을 향상시키기 위해 신뢰할 수있는 파트너가 될 것입니다.
전화: +86-13373889683
· 이메일: 판매01@semi-cera.com
· 더 많은 솔루션을 탐험: 이메일: sales@cnsemiconductorparts.com
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