반도체용 SiC 코팅 캐리어

전문 중국 제조 업체, 공급 업체 및 실리콘 카바이드 세라믹 코팅의 수출 업체로서. Semicera의 실리콘 탄화물 세라믹 코팅은 반도체 제조 장비의 중요한 성분에서 널리 이용됩니다, 특히 CVD와 PECV와 같은 가공 과정에서. Semicera는 반도체 산업에 대한 첨단 기술과 제품 솔루션을 제공하고 더 많은 상담을 환영합니다.

Description

우리의 회사는 흑연, 세라믹 및 다른 물자의 표면에 CVD 방법에 의하여 SiC 코팅 과정 서비스를 제공합니다, 그래서 높은 순수성 SiC 분자를 얻기 위하여 고열에 탄소와 실리콘 반응을 포함하는 특별한 가스, 입히는 물자의 표면에 예금되는 분자, SIC 방어적인 층을 형성하는 고열에 화학 반응합니다.

주요 특징

1. 명세 고열 산화 저항:
산화 저항은 여전히 온도가 1600 C로 높을 때 아주 좋습니다.
2. 명세 높은 순수성: 고열 염화 조건 하에서 화학 증기 증착에 의해 만들어.
3. 명세 부식 저항: 높은 경도, 조밀한 표면, 정밀한 입자.
4. 명세 내식성: 산, 알칼리, 소금 및 유기 시약.

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

사이트맵 제품정보
크리스탈 구조	FCC β 단계
제품정보	g/cm 3개	3.21
경도	Vickers 경도	2500
곡물 크기	사이트맵	2~10
화학 순수성	%	99.99995
열용량	J·kg-1 · K-1	640
공급 능력	온도 °C	2700
Felexural 힘	MPa (RT 4 점)	415
영의 s 계수	Gpa (4pt 굽힘, 1300°C)	430
열팽창 (C.T.E)	10-6K-1를	4.5
열 전도도	(W/mK)	300