실리콘 탄화물 세라믹 코팅

Semicera 실리콘 탄화물 세라믹 코팅은 극단적으로 단단한 착용 저항하는 실리콘 탄화물 (SiC) 물자로 한 고성능 보호 코팅입니다. 코팅은 실리콘 카바이드 입자를 가진 CVD 또는 PVD 과정에 의해 기질의 표면에 보통 예금해, 우수한 화학 내식성 및 고열 안정성을 제공하는. 따라서, 실리콘 탄화물 세라믹 코팅은 반도체 제조 장비의 중요한 성분에서 널리 이용됩니다.

반도체 제조에서 SiC 코팅은 1600°C까지 극단적으로 고열을 저항할 수 있습니다, 그래서 실리콘 탄화물 세라믹 코팅은 장비 또는 공구를 위한 방어적인 층으로 고열 부식성 환경에서 손상을 방지하기 위하여 자주 이용됩니다.

동시에 실리콘 카바이드 세라믹 코팅은 산, 알칼리, 산화물 및 기타 화학 시약의 부식에 저항 할 수 있으며 다양한 화학 물질에 높은 내식성이 있습니다. 따라서, 이 제품은 반도체 공업에 있는 각종 부식성 환경을 위해 적당합니다.

또한, 다른 세라믹 물자와 비교해, SiC에는 더 높은 열 전도도가 있고 효과적으로 열을 지휘할 수 있습니다. 이 특징은 정확한 온도 조종을 요구하는 반도체 공정에서, 실리콘 탄화물 세라믹 코팅의 높은 열 전도도가 균등하게 열을 분산하는 것을 돕고, 국부적으로 과열을 방지하고, 장치가 최선 온도에 작동한다는 것을 지킵니다.