웨이퍼 스텐레스

Wafer Susceptor는 epitaxy 과정에 있는 불가결한 핵심 성분입니다. Semicera는 정밀 설계 및 제조를 통해 Si Epitaxy 및 SiC Epitaxy 공정에 대한 우수한 솔루션을 제공합니다. Wafer Susceptor는 epitaxy 과정 도중 획일한 열 배급을 지키고 monocrystalline 실리콘 (Monocrystalline 실리콘) 층의 증착 질을 개량합니다. MOCVD Susceptors와 배럴 Susceptors의 다른 유형에서 잘 수행되며 다양한 반도체 제조 공정에 적합합니다.

Semicera의 Wafer Susceptor는 우수한 고열 저항 및 내식성을 가진 고강도 물자로 만들고, 복잡한 epitaxy 과정 조건 하에서 조차 장시간 동안 안정되어 있을 수 있습니다. Si Epitaxy 또는 SiC Epitaxy 과정에서, Semicera의 Susceptor는 epitaxy 성장 도중 웨이퍼의 질 견실함을 지키는 정확한 온도 조종 지원을 제공할 수 있습니다.

또한 Semicera의 Wafer Susceptor는 특히 MOCVD Susceptor 및 배럴 Susceptor 응용 분야에서 다양한 장비 및 사양 요구 사항에 맞게 정확하게 처리됩니다. 우수한 물자 선택과 과정 통제로, 우리의 제품은 뿐만 아니라 생산 효율성을 개량합니다, 또한 두드러지게 과정에 있는 결점 비율과 에너지 소비를 감소시킵니다.

반도체 산업에서 매우 까다로운 epitaxy 프로세스를 위해 Semikera의 Wafer Susceptor는 이상적인 선택입니다. R&D 또는 대량 생산을 위해, 우리의 웨이퍼 Susceptor는 고객에게 Si Epitaxy와 SiC Epitaxy 과정에 있는 더 높은 신뢰성 그리고 더 나은 수정같은 구조를 달성할 것을 도울 수 있습니다.