Graphite Susceptor with Silicon Carbide Coating 6 pieces 6 inch wafer Carrier

Descrição do produto

Em processos de alta temperatura (por exemplo, DCV, MOCVD, crescimento epitaxial) nas indústrias semicondutora, fotovoltaica e nova energia, a durabilidade e estabilidade dos portadores de wafers têm um impacto direto na produtividade e custo. Os portadores de grafite revestido com 6 polegadas de Silicone Carbide (pacote de 6) da Semicera Semiconductor são projetados especificamente para ambientes de processo severos e oferecem uma solução de alta temperatura, resistente à corrosão e longa vida útil para sua linha de produção, com materiais e tecnologias de última geração. linha de produção com materiais de ponta e tecnologia de processo para fornecer uma solução de alta temperatura, resistente à corrosão, de longa vida útil que ajuda a reduzir o tempo de inatividade e melhorar a consistência da capacidade.

Principais benefícios: Por que escolher portadores de grafite revestida de carbeto de silício de Semicera?

1.Performance superior para a vida mais longa
DCV Tecnologia de revestimento de carboneto de silício: O carbeto de silício de alta pureza (SiC) é uniformemente revestido na superfície, o que melhora significativamente a resistência à oxidação de alta temperatura (até 1600°C+) e à corrosão química, e evita que o substrato de grafite reaja com gases de processo, reduzindo o risco de contaminação por wafers.

Taxa de derramamento de partículas ultra-low: processo de revestimento de precisão garante superfície lisa e densa, reduz riscos de wafer e contaminação de partículas, e garante o rendimento do processo.

Projeto de produção 2.High-ficiency, reduzindo os custos globais
Configuração normalizada de 6 peças: Adapte-se às linhas de produção de wafer de 6 polegadas, apoie o processamento em lote, reduza o ciclo do processo e aumente a capacidade de produção.

Excelente combinação de coeficiente de expansão térmica: substrato de grafite e revestimento de carboneto de silício são altamente compatíveis com as propriedades térmicas, garantindo estabilidade estrutural em altas temperaturas, reduzindo a deformação e fissuração, e estendendo a vida útil para mais de 3 vezes a dos transportadores de grafite comuns.

3. Garantia de qualidade de processo completo, entrega sem preocupações
Padrões de controlo de qualidade: Do substrato de grafite isostático de alta pureza ao processo de revestimento, todo o processo passa pelo teste SEM/EDS e atende às especificações da ASTM e da indústria de semicondutores.

Resposta rápida à personalização: suportar o ajuste de tamanho, espessura de revestimento e outros parâmetros para atender às necessidades de processos especiais.

Parâmetros técnicos

• Material: grafite isostática + revestimento de carboneto de silício DCV
• Tamanho da wafer aplicável: 6 polegadas
• Capacidade de carga única: 6 wafers
• Temperatura máxima de trabalho: 1600°C (ambiente de gás inerte)
• Espessura do revestimento: 80-120μm (personalizável)
• Rugosidade da superfície: Rá ≤0,8μm

Cenários de aplicação: acompanhar as principais ligações de processo

1. Fabricação de semicondutores: epitaxia de silício, deposição de GaN, produção de dispositivo de carboneto de silício
2. Campo fotovoltaico: Revestimento CVD para wafers de células solares de alta eficiência
3. Novos materiais energéticos: sinterização de alta temperatura de materiais de anodo de lítio

Quatro razões para escolher semicondutor

□ Mergulho profundo na indústria por quase uma década: especializada em P&D de componentes semicondutores desde 2015, atendendo mais de 200 clientes em todo o mundo, incluindo empresas de primeiro nível de PV e semicondutores.
Inovação impulsionada pela tecnologia: Nós dominamos a tecnologia principal de revestimento de Carbide de Silício DCV, e foram premiados ISO 9001 certificação e muitas patentes.
□ Compromisso Manufacturing Sustentável: Adotar processos de produção verdes, reduzir o consumo de energia e as emissões de resíduos e praticar a responsabilidade social.
□ Suporte ao serviço de ciclo completo: desde a seleção e consulta até a manutenção pós-venda, a equipe profissional oferece resposta técnica 24 horas.
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Quer você esteja construindo uma nova linha de produção ou substituindo uma antiga operadora, as operadoras de grafite revestidas de Carbide Silicon serão seu parceiro confiável para melhorar sua competitividade com menor custo global e maior estabilidade do processo.

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Equipa de Contacto: +86-13373889683
□ E- mail: sales01@semi-cera.com
□ Explore mais soluções: www.cn-semicondutorparts.com

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